位置決めステージ

【超高分解・高速ピエゾステージ】

圧電アクチュエータと内蔵変位センサによる、高速・高分解能ステージ。

豊富なラインナップを揃えています。

【高分解・ロングストローク超音波モータステージ】

「ミリメートル」の移動を「ナノメートル」単位で再現性良く位置制御できるロングストロークステージ。