非接触式で高精度安定測定を実現！

■測定例
粗い面の部品や金属、紙の表面形状、液面高さ
ガラス、ボトル、フイルム、樹脂膜、接着剤等
非接触厚み測定に最適
■加工プロセスにおいて
リアルタイムでインプロセス厚み測定対応可能
■オプションで干渉膜厚み対応可能
■対象物の傾きにも測定可能で角度特性を実現（最大±45℃）
■測定レンジ：形状計測　3nm～25mm
　　　　　　　　　厚み計測　2μm～25mm
■スポット径が小さく細かい測定も可能（最小焦点ｽﾎﾟｯﾄ3μm）