厳しい環境下でも高精度位置検出

1.真空中、油圧での高精度位置検出　
油圧シリンダー用　液晶製造装置用　
80MPa 耐圧ステンレスロッド　
非接触・高精度（分解能0.5μm）に計測　
最長7600mm　
複数位置同時計測可　

2.防水対応タイプ　
オールステンレスハウジング　
防水性能IP68/IP69K　
耐衝撃　100G、耐振動　15G　
繰り返し精度0.001％F.S.　

3.超長尺計測タイプ　
搬送装置用　
最長20mの計測+分解能　0.5μm　多彩なインターフェース+多位置計測　

4.多位置同時計測タイプ　
スリッター用　
最大30箇所の位置の変位を同時計測　+故障診断機能付き　

5.防爆対応タイプ　
ATEX Zone1.Zone2
ATEX本質安全、ATEX・TIIS耐圧防爆+多機能・高精度　位置・液面計測