Si 1μｍまで測定可能

非接触で楽々測定！
薄ウェハー測定でお困りの方お待たせしました。　

・Si、GaAs、SiC、サファイア等半導体ウェハー、フィルム、樹脂膜、接着剤、ガラス、ギャップセル、太陽電池等各種膜の非接触厚み測定に最適。　
・加工プロセスにおいてリアルタイムでインプロセス厚み測定対応可能。　
・上記以外に厚手Ｓｉウェハー（10～1,000μm）、ボロンドーブ、粗ウェハー用、形状測定用センサーもございます。
・ウェットエッチング等のインプロセス向け特殊用途にもカスタム対応可能です。　

気軽にお問い合わせ下さい。