密着確認　0.002mmのスキマも安定検出！！　

±1μm繰返し精度　IP67悪環境に強い！！　

■改善事例　半導体ウェハー厚さ測定　
±1μm繰返し精度で非接触測定！高精度のON/OFF位置信号を、サーボモータで読み取ることで、水やシリコンウェハー切粉の飛び散る悪環境下でも、半導体ウェハーの厚さを±1μm精度で測定できます。　

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