超精密位置決めのスペシャリスト！

1ナノメートルを上回る超精密位置決め精度　　

1.超高剛性、長寿命、真空、高低温対応可
　「高出力積層ピエゾアクチュエータ」　PICA P-225～235　
ストローク：15～180μm　
分解能：最高0.3nm（センサ使用時）　
センサ：歪ゲージ式　
推力：最大30,000N　

2.超高精度、高速応答、高リニアリティ、長寿命　
「高精度ピエゾステージ」　P-752シリーズ　
ストローク：15～30μm　
分解能：最高0.1nm　（センサ使用時）　
センサ：静電容量式　
耐荷重：30N　

3.超高精度、高剛性、長寿命、非磁性、真空対応可　「XYZ3軸ピエゾステージ」　PIMars P-561～563　
ストローク：45×45×15μm～300×300×300μm　
位置決め精度：4nm　
センサ：静電容量式　
耐荷重：50N