窒素ガス発生装置

窒素濃度　99.999%以上　
■6～2,500NL/min　
全90機種で対応　

●膜分離方式　97～99％　
●PSA方式　99～99.99％　
●PSA-02方式　99.999％以上　　

神奈川工業技術開発対象奨励賞　
関東経済産業局長賞　
受賞商品　　

■MAX N2 窒素ガス発生装置　
■MAX O2F 酸素吸収装置