超精密位置決めのスペシャリスト！

1ナノメートルを上回る超精密位置決め精度　

1.高出力積層ピエゾアクチュエータ　PICA　P-225～235　
超高剛性、長寿命、真空、高低温対応可　
ストローク：15～80μm　
分解能：最高0.3nm（センサ使用時）　
センサ：歪ゲージ式　
推力：最大30,000N　

2.高精度ピエゾステージ　Ｐ-752シリーズ　
超高精度、高速応答、高リニアリティ、長寿命　
ストローク：15～30μm　
分解能：最高0.1ｎm（センサ使用時）　
センサ：静電容量式　
耐荷重：30N　

3.ＸＹＺ3軸ピエゾステージ　PIMars　P-561～563　
超高精度、高剛性、長寿命、非磁性、真空対応可　
ストローク：45×45×15μm×300×300×300μm　
位置決め精度：4nm　
センサ：静電容量式　
推力：50N