超精密位置決めのスペシャリスト！

１ナノメートルを上回る超精密位置決め精度
　
■コンパクトサイズ、パラレル制御　
「ミニチュア6軸ステージ」　
製品サイズ：φ100×118mm　
ストローク：X/Y=40ｍｍ、Z=13mm、U/V=±11°、W=±30°　
位置決め精度：±0.5μm　
耐荷重：5kg　サイズ違いのラインナップ有り　

■超硬精度、高剛性、長寿命、非磁性、真空対応可　「XYZ3軸ピエゾステージ」　
ストローク：45×45×15μm～300×300×300μm　
位置決め精度：4nm　
センサ：静電容量式　
耐荷重：5kg　

■高速、高精度、省スペース、非磁性、真空対応可　「XY2軸リニアモーターステージ」　
ストローク：25×25mm～300×300mm　
移動速度：100mm/s　
位置決め精度：0.3μm　
耐荷重：5kg　
ナノポジショニングステージを搭載可能