超精密位置決めのスペシャリスト！

1ナノメートルを上回る超精密位置決め精度　

■ミニチュア6軸ステージ　Hexapod　M-810　
コンパクトサイズ／パラレル制御　
製品サイズ：φ100×118mm　
ストローク：X/Y=40mm、　Z=13mm、U/V=±11°、W=±30°　
位置決め精度：±0.5μm　耐荷重：5kg　

■高速回転ピエゾステージ　PILine M-660
ストローク：Z軸回転無制限　
位置決め精度：±68μrad
最高速度：720°/s　
耐加重：2kg　

■XY2軸リニアモータステージ　
ストローク：25×25mm～300×300mm　
移動速度：100mm/s　　
位置決め精度：0.3μm　
耐荷重：5kg