プリズム

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（有）テクサム

超高真空直線・回転導入機

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コネクタ 端子 アクセサリ シール

耐熱性能に優れたテクサムの各種導入機は超高真空領域対応。

シャフトはAM350ベローズでエッジ溶接され、真空側と大気側とを完全に遮断。

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（有）テクサム

【所在地】〒582-0006大阪府柏原市清州１－４－９－６０１

【電話番号】0729-73-4020 【FAX番号】0729-73-4032

【URL】http://www.tecsam.co.jp/

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直線、回転導入機
回転式直線導入機
250℃までの耐熱性能を備えた、回転式直線導入機は、大機側から真空側へ直線運動を与える導入機です。真空側は超高真空用潤滑剤 （クライトックス）を使用したフィルムベアリングで、大気側は高温用クライトックスを使用したベアリングです。
シャフトはAM350ベローズでエッジ溶接されています。
直線運動量は25mmもしくは50mmタイプがあります。手動タイプの他に、オプションでDCステップモーター、高トルクDCステップモーター、リバーシブルACモーターなどの取り付けが可能です。
プッシュプル式直線導入機
プッシュプル式直線導入機は、すばやく真空チャンバー内で直線移動するのに最適な超高真空用導入機です。真空側は超高真空用潤滑剤（クライトックス）を使用したフィルムベアリングで、大気側は高温用クライトックスを使用したベアリングです。
シャフトはAM350ベローズでエッジ溶接されています。
直線運動量は25mmもしくは50mmタイプがあります。
回転式回転導入機
真空側はタングステンジスルフィドを使用したドライフィルムベアリングで、大気側は高温用クライトックスを使用したベアリングです。
シャフトはAM350ベローズでエッジ溶接されています。
※オプションでDCステップモーター、高トルクDCステップモーター、 リバーシブルACモーター等を取付できます。
ウォブルスティック導入機
44° -12.7mm、60° -25.4mmの2種類があります。

◆テクサムの製品ラインナップ
【ハーメチック＆シール】
電流導入端子
ビューイングポート（超高真空窓）
ハーメチックフィードスルー
ハーメチックコネクタ
超高真空用ハーメチックコネクタ
超高真空、高真空コネクタ
超高真空、高真空電線
超高真空用アクセサリ
超高真空用導入機
光ファイバーフィードスルー
グランドフィードスルー
コンプレッションフィッティング
熱電対コネクタ
超高真空・高真空用グラスアダプター