超精密位置決めのスペシャリスト！
　

1ナノメートルを上回る超精密位置決め精度　

■コンパクトサイズ、パラレル制御　「ミニチュア6軸ステージ Hexapod M-810」
製品サイズ：φ100×118mm　
ストローク：X/Y＝40mm、Z=13mm、U/V＝±11°、W=±30°　
位置決め精度：±0.5μm　
耐荷重：5kg　
・サイズ違いのラインナップ有り　

■超高精度、高剛性、長寿命。非磁性、真空対応可　「XYZ3軸ピエゾステージ　PlMars P-561～563」　
ストローク：45×45×15μm～300×300×300μm　
位置決め精度：4nm　
センサ：静電容量式
耐荷重：5kg　

■高速、高精度、省スペース。非電磁性、真空対応可　「XYZ2軸リニアモーターステージ　PlLine　M-686 」
ストローク：25×25mm～300×300mm　
移動速度：100mm/s　
位置決め精度：0.3μm　
耐荷重：5kg　
・ナノポジショニングステージを搭載可能