真空環境下の「精密位置決め」でお困りの方へ！！

【改善事例】
■従来：ビューポートの加工費が必要　■改善：ビューポート不要！！

●従来：蒸着時の曇りでセンサが誤探知　　●改善：直接タッチで安定検出

半導体製造装置のウエハーの着座確認
ビューポートの加工が不要、大幅コストダウン。
ウエハー蒸着時のビューポートの曇りによる、センサの誤探知がなくなります。