超精密位置決めスペシャリスト！

1ナノメートルを上回る超精密位置決め精度　

■コンパクトサイズ、パラレル制御
ミニチュア6軸ステージ

製品サイズ：Φ100×118mm
ストローク：X/Y=40mm、Z=13mm、U/V=±11°　W=±30°
位置決め精度：±0.5μm　耐荷重：5kg
・サイズ違いのラインナップ有り

■超高精度、高剛性、長寿命。非磁性、真空対応可
XYZ3軸ピエゾステージ

ストローク：45×45×15μm～300×300×300μm
位置決め精度：4nm
センサ:静電容量式
耐荷重：5kg

■高速、高精度、省スペース。非磁性、真空対応可　XYZ2軸リニアモーターステージ

ストローク：25×25mm～300×300mm
移動速度：100mm/s
位置決め精度：0.3μm
耐荷重：5kg
・ナノボジショニングステージを搭載可能