超精密位置決めのスペシャリスト！

1ナノメートルを上回る超精密位置決め精度　

■ミニチュア6軸ステージ　
コンパクトサイズ、パラレル制御　
製品サイズ：φ100×118mm　
ストローク：X/Y＝40ｍｍ、Z＝13ｍｍ、U/V＝±11°、W＝±30°　
位置決め精度：±0.5μm　　
耐荷重：5kg　

●サイズ違いのラインナップ有り　　


■XYZ3軸ピエゾステージ　
超高精度、高剛性、長寿命。非磁性、真空対応可　
ストローク：45×45×15μm〜300×300×300μm　位置決め精度：4nm
センサ：静電容量式　
耐荷重：5kg　　

■XY2軸リニアモーターステージ　
高速、高精度、省スペース。非磁性、真空対応可　　
ストローク：25×25mm〜300×300mm　
移動速度：10mm/S　
位置決め精度：0.3μm　
耐荷重：5kg　

●ナノポジショニングステージを搭載可能