製品詳細

石原薬品(株)

グラッシーカーボン+石英

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グラッシーカーボン
パーティクルが少なく耐薬品性に優れた黒色ガラス状の炭素素材です。
石英
高透過性、耐熱性、高純度など多くの優れた特性をもつ素材です。

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石原薬品(株)

【所在地】〒110-0016東京都台東区台東2-26-11

【電話番号】03-3832-8117 【FAX番号】03-3832-8134

【URL】http://www.unicon.co.jp

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グラッシーカーボン
パーティクルが少なく耐薬品性に優れた黒色ガラス状の炭素素材です。
◆特徴
脱ガスフリー
優れた耐食性
気体不透過
◆用途
半導体装置用部材

石英
高透過性、耐熱性、高純度など多くの優れた特性をもつ素材です。
◆特徴
高純度
光透過性に優れる
低熱膨張率
◆用途
半導体装置用部材、熱処理装置部材


■石原薬品の製品ラインナップ
◇ エンプラ製品 ◇
ベスペル(R)SP―1
ベスペル(R)SP―202
◇ セラミックス製品 ◇
マコール
Hタイプ
Pタイプ+ローテックTM
窒化ホウ素+窒化アルミ
アルミナ
ジルコニア
炭化ケイ素
グラッシーカーボン+石英