スリットコーター（薄膜塗布装置）

FPD、太陽電池、有機EL分野などに展開。
ノズルを用いてガラス基板にレジスト液（感光性の液体材料）を塗布する装置で、最先端レジストコーティングシステムです。スピンコーターに比べレジスト液の使用量を大幅に削減し、高いコストパフォーマンスを実現します。
スリットコーターの他、スピンコーター、洗浄装置、ベーク装置等も扱っております。