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製品詳細
株式会社栗田製作所
プラズマイオン注入成膜装置
超微細加工装置 その他 プロセス装置 プロセス材料 その他 表面処理技術/機器 その他素材/材料 材料/素材低温で、三次元形状物へDLC成膜を!!
栗田製作所と産総研の共同開発により誕生した、新開発のプラズマ発生方式により三次元形状物でも全方位に均一にDLC処理が可能です。ワーク自身がプラズマ発生用アンテナになる為、外部アンテナやイオン源が必要なく簡単にDLC処理が可能になりました。パルス電源を使用しているため非常に低温(50℃~)での処理も実現しました。金属から絶縁物まで幅広い物がこの一台でDLC処理できます。
- 株式会社栗田製作所
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【所在地】〒610-0221京都府綴喜郡宇治田原町大字湯屋谷宇治田原工業団地内
【電話番号】0774-88-4811 【FAX番号】0774-88-3708
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