超薄膜の付着強度の評価に

薄膜と母材の界面の付着強度を定量的に評価します。　　数μm以下の被膜と母材の接合強度及び膜の耐摩耗特性が評価できます。　多層性の評価にも対応できます。　小さなサンプルで局所的な測定が可能です。