機器組込用KL15微差圧トランスミッタ

数Paレベルの微小な圧力を高感度で検出する小型SC〔Silicon Capacitance〕センサを内蔵。極微圧を測定可能なセンサとして、様々な機器に組込が可能となります。　　差圧レンジ0～50Pa、100、200、300Pa　新開発小型センサチップを搭載　各種機器組込を想定した低コスト化を実現　高感度センサの採用　許容最大圧力50kPa（片耐圧、両耐圧双方±50kPaまで許容）最大1000倍の高耐圧を実現