イオンソース　　露光型レーザーアブレーション

プラスチック、フィルムにSio2、Si3N4、ITOを常温で成膜実現！　開発から量産までの多種多様な成膜、エッチング、クリーニング及び表面改質に対応　イオンビームスパッタ及びイオンビームアシスト装置、イオンミリング装置に使用　　ドラックデリバリー用コンパーネントのポリイミドのダイレクト1μmノズルアレイパターンを高速で実現！　ホトリソ工程のスキップを実現　低コスト大量生産が可能　24時間フル生産　スキャニング、ステッパー、リール方式選択可能　マスクパターンを正確に転写してポリイミドダイレクトエッチングパタ