超薄型・小型XYθ（アライメント）ステージ　4軸駆動Xyθ（アライメント）ステージ　球面軸受SRJ

Xyθステージ登場　　高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立～積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。　100mm×100mmの高精度アライメントステージ～小型ながら繰返し精度±1μmを達成。　旋回中心自由設定　　超薄型シンプル構造と高剛性の両立　高精度な位置決め　旋回中心自由設計　丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能　大形ステー