CCD3素子搭載。　超高速、高速走査を実現。

RGB3CCD素子の2048×2048画素、計1200万画素によるリアルカラーコンフォーカル画素　可変フレーム機能（Variable Frame Rate）による最速120フレーム/secの走査速度　干渉測定機能（オプション）の付加により垂直分解能0.1nm　RGB測定波長の選択機能（1スキャンでRGB3つの測定データを同時取得）　1クリック自動測定機能（3D、表面粗さ2D・3D、プロファイル測定）　傾斜面に強く、表面の凹凸が大きなサンプルでも正確な3次元測定が可能　X、Y寸法測定再現性0.02μm（3σ