超薄型・小型XYθ（アライメント）ステージ　4軸駆動Xyθ（アライメント）ステージ　球面軸受SRJ

高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立～積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。　100mm×100mmの高精度アライメントステージ～小型ながら繰返し精度±1μmを達成。　旋回中心自由設定　最大寸法2300mm角（高さ200mm）まで対応　3軸駆動方式の弱点だったX軸方向の横剛性を4倍に、アライメント時間短縮に有効な絶対位置決め