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製品詳細
(株)フジエー
アクティブ除振台 ADFシリーズ
モータ その他アクティブ除振台ADFシリーズ
薄膜ベローズ方式による優れた除振性能 0.8mm~2.0mmという薄膜ベローズを用いることで、以下の特徴があります。 ベローズのみで水平方向に固有振動数2.6~4.3Hzを実現。 特に高周波数域にて優れた除振性能。 超薄型の除振台が設計可能。 ヒステリシスが小さく応答性の高いアクティブ除振台。 アクティブ制御 感度:0.1%F.S. 繰り返し再現性:0.1%F.S. リリーフ最小圧力:0.03kPa 制御流量:300L/min以上の大流量型モータ駆動式レギュレータ(RS・M/S)により除振台を制御。大重
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