真空発生器VY

小型エジェクターに真空破壊機能を付加　電磁弁搭載タイプの真空発生器に比べ大幅な低価格化を実現　遮断弁の搭載で吸着・破壊サイクルの高速化を実現　エジェクターと真空破壊機能を一体化