高解像X線多層基板検査装置

簡単操作！　高解像！　多目的！　コンパクトで多目的に使える小型X線検査装置です。　高性能マイクロフォーカスX線源の採用。大型基板も差し替える事なく検査可能。　ファインピッチの多層基板にも対応しています。（従来の装置では、倍率が不足しているため、ファインピッチ基板の層ズレ、欠け、バリ等の識別に難がありました。）　視野サイズを任意に可変する事が可能です。　基板専用の画像計測装置を標準装備しています。