4軸駆動Xyθ（アライメント）ステージ　超薄型・小型XYθ（アライメント）ステージ　球面軸受SRJ

最大寸法2300mm角（高さ200mm）まで対応　3軸駆動方式の弱点だったX軸方向の横剛性を4倍に、アライメント時間短縮に有効な絶対位置決め精度が6倍に高めた新機構　　高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　　スキマゼロの転がり案内によって高剛性、高精度を実現！　　高剛性、高精度　多自由度軸受の小型化　チルト機構・水平出し機構への応用　超精密球面加工技術