アクティブ除振台ADFシリーズ

薄膜ベローズ方式による優れた除振性能　0.8mm～2.0mmという薄膜ベローズを用いることで、以下の特徴があります。　ベローズのみで水平方向に固有振動数2.6～4.3Hzを実現。　特に高周波数域にて優れた除振性能。　超薄型の除振台が設計可能。　ヒステリシスが小さく応答性の高いアクティブ除振台。　　アクティブ制御　感度：0.1％F.S.　繰り返し再現性：0.1％F.S.　リリーフ最小圧力：0.03kPa　制御流量：300L/min以上の大流量型モータ駆動式レギュレータ（RS・M/S）により除振台を制御。大重