大気圧プラズマ処理装置

マルチガステクノロジーにより濡れ性改善からエッチングまで対応　希ガス（Ar/He）の使用　高表面改質効果　ダイレクト方式の採用　高いスループットを実現　特殊誘電体電極・電源の採用　完全グロー放電の実現　電極長寿命化、ガス量削減　ランニングコスト大幅削減