超薄型アライメントステージCMW形

Xyθモジュールをベースの4隅に配置し、ステージとベースの中央部に大きな空間を設けました。　ステージサイズ1500mm×1500mmまでを標準化。モジュールを必要数配置する事により、さらなる大型化が可能です。