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製品詳細
エア・ウォーター(株)
大気圧プラズマ処理装置
組立装置 超微細加工装置 その他 プロセス装置 薬品/固体 気体 プロセス材料 その他大気圧プラズマ処理装置
マルチガステクノロジーにより濡れ性改善からエッチングまで対応 希ガス(Ar/He)の使用 高表面改質効果 ダイレクト方式の採用 高いスループットを実現 特殊誘電体電極・電源の採用 完全グロー放電の実現 電極長寿命化、ガス量削減 ランニングコスト大幅削減
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【所在地】〒573-0136大阪府枚方市春日西町2-28-3
【電話番号】072-858-3855 【FAX番号】072-858-3859
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