UMIS II

Low-K材からDLCまで薄膜の硬度測定に　押込み荷重の独立測定　力及び深さ制御　バーコヴィッチ、半球型、立法体型、ヌープ圧子からのデータ分析　装置制御及びデータ分析を併せ待つWinUMI2.0のソフトウェア　国際標準にトレーサブルな校正