製品詳細
(株)日本レーザー
卓上型マスクレス・リソグラフィ装置“μPG501/μPG101”
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その他
加工
マーキング
卓上型で簡単な操作性のエントリーモデル
μPG501
・高精度&ハイスループット
・描画速度:50mm2/分
・最少描画サイズ1μm
μPG101
・最もお求めやすい価格帯
・最少描画サイズ0.9μm
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μPG501ではLED光源で構成した縮小投影式の描画方式を採用し、快適な描画速度と低CoOを実現。μPG101はレーザー源を光源としたラスタ・スキャン・ライクな描画方式を採用し、お求めやすい価格ながらサブ・ミクロンの解像度を実現しました。 |
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- 最大描画エリア:125×125mm2
- 最小描画サイズ:1.0μm
- 最小アドレス・グリッド:50nm@1μm
- 描画スピード: 50mm2@1μm, 100mm2@2μm(オプション)
- 小さいフットプリント: 60×75cm2
- トライアル用グレイスケール露光モード
- アライメント用カメラシステム
- 光源:高出力LED(10W, 390nm), 高出力UVLED(10W, 375nm, オプション)
- MOEMS(光MEMS)を使用した光学系統
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- 最大描画エリア:125×125mm2
- 最小描画サイズ:0.9μm(最大描画エリア:90x90mm2)
- 最小アドレス・グリッド:40nm@0.9μm
- 描画スピード:90mm2@0.9μm, 90mm2@5μm, 35mm2@2.5μm, 5mm2@0.9μm
- 小さいフットプリント: 60×75cm2
- トライアル用グレイスケール露光モード(オプション)
- ベクター・スキャン・モード(オプション)
- アライメント用カメラシステム
- レーザー源:LD(120mW, 405nm), UVレーザー(70mW, 375nm, オプション)
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