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製品詳細
(株)日本レーザー
マスクレス・リソグラフィ装置 フラッグシップ・モデル“DWL2000/4000”
その他R&Dから生産用途までをカバー
•最少描画サイズ0.5μm
•自動基板搬送機構も搭載可能
- (株)日本レーザー
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【所在地】〒169-0051東京都新宿区西早稲田2-14-1
【電話番号】03-5285-0861 【FAX番号】03-5285-0860
製品選定でお悩みの際は、日本レーザーまでご連絡ください。 03-5285-0861 |
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より高速で高精度なステージ・システム、光学系および制御系を採用し、高速且つ高精度な描画性能を実現。より高度なグレイ・スケール露光機能の他、自動基板搬送機構も搭載可能。R&Dから生産までシームレスにカバーするハイデルベルグ・インストルメンツ社のフラッグシップ・モデルです。 |
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◆日本レーザーの製品ラインナップ |
パターン・ジェネレータ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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【パルスレーザー】 | |
パルスファイバーレーザーredENERGY G4 高繰返しLD励起パルス固体レーザー(IMPACTシリーズ) |
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【インプリント】 | |
UV式mini ナノインプリント装置 EUN-4200 熱式miniインプリント装置 EHN-3250 |
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【粒度分布計測】 | |
レーザー回折式 粒度分布測定(乾式・湿式) HELOS&RODOS |
【ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈アプリケーション例〉】 | |||||||||||||
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ファイバー光スイッチ/マルチプレクサ ピエゾ駆動光学マウント ピエゾ駆動ステージ NanoX 高速ポジショナ スタックアクチュエータ |
【SECOPTA社 LIBSシステム】 | |
SECOPTA社 LIBSシステム(インライン向け) SECOPTA社 LIBSシステム(ラボ用卓上タイプ) SECOPTA社 LIBSシステム(超高速インライン向け) |
【Newport社 電動ステージ】 | |
電動直進ステージ(自動直進ステージ) 電動回転ステージ(自動回転ステージ) 電動垂直ステージ(自動垂直ステージ) ナノポジショニング・リニアステージ(ピエゾ駆動直進ステージ) ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム |
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