高濃度のフッ素を発生させ、高純度のフッ素ガスを供給致します。

ほぼ100％のフッ素を発生できます。　高純度のフッ素ガスが供給できます。　使い易い圧力で供給可能です。　取扱時の安全性が高い。　装置はコンパクトであり、広いスペースを必要としません。