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3D MEMS用振動・変位解析装置
面内振動・面外振動を同時に測定。高周波240MHz対応。鏡面・粗面でも測定可能。位相情報をリアルタイムで確認が可能。
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高周波数240MHzまで対応
位相情報も含めてリアルタイムで確認可
1nmから測定可能


メムスマップ510は微小測定物(0.1mm以上)の振動変位解析をCCDカメラと顕微鏡レンズを用いて行います。
測定物にレーザーを照射し、測定物より反射されたレーザーと内部レファレン スレーザーとの間で干渉縞を作成します。この干渉縞を高精度の顕微鏡レンズとCCDカメラで画像処理ボードを通して、デジタルデータとしてPCに取り込み ます。メムスマップは測定物の振動と変形を、リアルタイムモードおよび位相 変調法の2つの異なる手法で測定することができます。
リアルタイムモードでは、振動と変形量を測定物イメージ上にフリンジパターン (等高線図)でオーバーラップさせて表示します。周波数をスウィープすることにより共振点の振動モードを容易に観察することができます。
また位相変調法を用いると、振動モード、変位モードをアニメーションや3Dプロットで表示することができるので、非常に優れた定量的および定性的な振動・変位解析を行うことができます。

◆特長

静的変形測定


下図は寸法3×3mmのシリコンメンブレンのガス圧力により変形されたときの 変位モードです。リアルタイムで測定物上にフリンジパターンをオーバーラップ し変位量が表示されるので、変位解析が簡単に確認できます。
測定感度は位 相変調法を使用することにより、約1nmに高めることができます。





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シングル周波数振動測定(高周波対応 最大1GHz)


下のアニメーションは超音波部品14.3MHz & 水晶振動子4.1MHzでの振動モードの3Dプロット例です。
この3Dプロットは実際の振動状態の位相情報も含まれており、位相情報 を0から2πまで変化させることにより、測定物の振動状態をアニメーションで確認することができます。
振動測定で位相変調法を使用するとき、マイクロマップは測定物の加振周波数も同様にコントロールし、振動振幅は約1nm,周波数範囲は数百メガヘルツまで測定可能です。





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◆基本仕様

大きさ・寸法 0.1×0.1mm~3×3mm
最小振動振幅範囲 1nm
最小変位振幅範囲 1nm
測定周波数範囲 30Hz以上~無制限
位相変調法使用時 240MHz
測定対象体温度 -50℃~1500℃

◆シスコムの製品ラインナップ
【データロガー】

超小型温湿度ロガー SHTDL-3
マルチ温湿度ロガー MSHTDL-16
4CH温湿度アナログ変換器 SHTDA-W
熱電対ロガー SHTDL4-TC4
超小型・加速度ロガー AccStick6
【触覚アレイセンサ】

触覚アレイセンサ T-4500/FingerTPS
【樹脂材料・CFRP プロセスモニタリング】

ポリマー硬化自動測定装置 LT-451/LT-639/LT-459
CFRPプロセスモニタリング OptiMold/OptiFlow
【動的粘弾性測定装置】

レオメータ NDS-1000
【風速・温度測定装置】

多点風速計 eATVS-4/8, ATVS-2020
風速・温度・圧力マルチ計測 iQ-200
超小型環境センサ SAN-303
熱解析用風洞トンネル CLWT
熱解析用風洞トンネル BWT
【レーザー計測装置】

TVホログラフィー振動変位解析装置 バイブロマップ1000
3DMEMS用振動変位解析装置 MEMSMap
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国内外のユニークなセンサ・計測技術を応用...
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圧力測定
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