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安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ
LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ

・X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転
・最大1500μmのロングトラベル達成
・クローズドループオプション
・真空/極低温対応可能
製品選定でお悩みの際は、日本レーザーまでご連絡ください。 03-5285-0861
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概要


piezosystem jena社では、ミラーやLDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ類を製造しています。
非常に多彩な製品群で、半導体、エレクトロニクス、バイオなど幅広い分野・用途に最適なソリューションを提供します。
高精度なピエゾ駆動ステージながら、X軸リニアステージでは移動量最大1500μmのロングトラベルを達成。またいずれのステージタイプもクローズドループモデルがございます。



ラインナップ

X軸ステージ PX, PU シリーズ

X軸ステージ

トップ/ボトムプレート付きのPXシリーズと、プレートのないブロックアクチュエータ PUシリーズの2シリーズがございます。

  • 移動量: 38~1500μm(PX), 40~100μm
  • サイズ: 25x25~78x34mm2(PX)
  • PX: センサ/真空オプション有
  • PU: 縦/横取付可能
  • ミリ秒の高速セッティング
  • 優れた長時間位置安定性

Z軸ステージ PZシリーズ

Z軸ステージ

1nm未満の高い分解能を特長とするハイダイナミックレンジのZ軸ステージです。標準的なPZシリーズはトップ/ボトムプレート付き、PZ OEM 及び PZ D12 シリーズはユーザーセットアップへの組込みを意図したプレート無のデザインになっています。

  • 移動量: 8~400μm
  • 共振周波数 最高 3kHz
  • 分解能(シングルステップ): 0.02nm
  • センサ/真空オプション有
  • 高いZ軸平行度
  • ドリフトやヒステリシスのない高い再現性

XY軸ステージ PXYシリーズ

XY軸ステージ

ピエゾアクチュエータを湾曲ヒンジ機構に組み込んだXYステージです。ナノメートルレベルの高い精度と、1軸当り 最高 700μmのロングトラベルを達成しています。また平行四辺形型の硬性ヒンジ採用で、機械的遊びのない平行度の高い動作が得られます。他の装置への組込みも容易で、中心穴には種々の光学素子をマウントできます。

  • 移動量: 16~400μm
  • トップ/ボトムプレート付き PXY 38/100/200/201/400
  • AFM, 計測用途に便利なL字型モデル PXY D12
  • オプティクスやレーザーのポジショニングに最適な PXY15/16/36 及び Scan XY40
  • 高速セッティング
  • 優れた長時間位置安定性

XYZ軸ステージ TRITOR シリーズ

XYZ軸ステージ

超コンパクトの3次元ステージで、移動量はいずれの軸でも 最大400μm です。機械的な遊びのない平行度の高い動作が得られます。クローズドループも可能です。他の装置への組込みが容易で、研究用途からOEMまで幅広いアプリケーションに使用できます。

  • 移動量: 9~400μm
  • 中心穴付きまたは穴無しデザイン
  • センサ付きフィードバックオプション
  • コンパクトサイズ
  • 1nm未満の高い分解能

5軸ステージ PENTOR

5軸ステージ

17mm 径の中心穴付き5軸傾きステージです。移動量は X, Y, Z軸で 100μm、直交する2つの傾き調整軸が ±2mrad です。

X, Y, Z軸動作は湾曲ヒンジ機構によるもので、高い平行度が得られます。各軸にはメカニカルプリロードが搭載され、ダイナミクス・アプリケーションに最適です。また温度変化に強く、傾き角度が周辺温度に影響されません。

硬性湾曲ヒンジの主要な部品はステンレス製、トップ/ボトムプレートはアルマイト製です。オプションとして、ひずみゲージ測定機構を搭載できます。

  • X, Y, Z軸移動量: 100μm
  • 傾き軸(2軸)移動量: ±2mrad
  • 中心穴付き: 17mm径
  • プリロード内蔵
  • 機械的遊びのない高い平行度
  • 測定機構搭載オプション

回転ステージ ROTOR

回転ステージ

ピエゾ駆動による高い分解能と、高い中心軸精度をもつ1軸の低電圧回転ステージです。ステアリング及びスキャンレンジは 最大 11mrad です。力学的性能ににも優れ、コンパクトパッケージながら大荷重でも高精度な動作が得られます。また硬性湾曲ヒンジによるモノリシック・ガイドで、機械的遊びや摩擦が少なくなっています。

  • 回転量: 最大 11mrad
  • 優れた力学的性能
  • 高い平行度
  • 高い中心軸精度 0.2µrad
  • 分解能 0.02µrad
  • 3mm径開口
  • 温度補正機能内蔵
 


(採用例)ウエハ検査システム内でのウエハの高精度ポジショニング


(採用例)赤外波長での走査型近接場光学顕微鏡


(採用例)ピエゾシステムスキャナを用いたナノライフAFM システム


顕微鏡アプリケーション向け製品



ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈アプリケーション例〉

ビームシャッター 光ファイバ ライフサイエンス
(生命科学)
マテリアルサイエンス
(物質科学)
機械工学 計量学
顕微鏡検査 ナノ位置決め 光学
半導体 バルブ技術 オートフォーカス装置
(自動焦点装置)

◆日本レーザーの製品ラインナップ
piezosystem jena 社の光学機器
ファイバー光スイッチ/マルチプレクサ
ピエゾ駆動システムによる
高速・高効率・広帯域な光スイッチ
・ピエゾ素子による高速&高精度ファイバカップリング
・標準 1~9チャンネル
・モジュールのカスケード接続で100以上までチャンネル数を増設可能
・対応ファイバコア径 50~600μm
・内部光学部品無し: 紫外から赤外までカバー
>詳細はこちら
ピエゾ駆動光学マウント
種々のコンポーネントや
アプリケーションに柔軟に対応
・顕微鏡用対物レンズマウント
・アプリケーションごとに選べるチップ&チルト・ミラーマウント
・最大開口1500μmの光シャッター/スリット
・使い易いファイバポジショニングシステム
・マイクロメータスクリュードライブ
・グリッパー
>詳細はこちら
ピエゾ駆動ステージ
LDなど光学部品の精密ポジショニング及び
スキャニング用途に適した、
安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ
・X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転
・最大1500μmのロングトラベル達成
・クローズドループオプション
・真空/極低温対応可能
>詳細はこちら
NanoX 高速ポジショナ
最大10kgもの大荷重でも、
高精度な高速ダイナミック・ナノ/マイクロポジショニングを実現。
複数のポジショナを組み合わせることも可能。
・2つのスタック・アクチュエータを組み合わせる双方向アクティブ法採用
・高精度、高い耐荷重で高速の動的用途に最適
>詳細はこちら
スタックアクチュエータ
多層セラミック技術をもとにした
スタック型ピエゾアクチュエータ
・数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現
・長寿命
・クローズドループ対応
・真空、極低温対応
>詳細はこちら

【パターン・ジェネレータ】 (レーザー描画装置・レーザー加工装置)

高速/高精細レーザー直接描画装置“VPG200/400” 【生産用途】
マスクレス・リソグラフィ装置 フラッグシップ・モデル“DWL2000/4000” 【生産・開発用途】
R&D用マスクレス・リソグラフィ装置 最上位モデル“DWL66+” 【研究・開発用途】
卓上型マスクレス・リソグラフィ装置“μPG501/μPG101” 【研究・開発用途】
【パルスレーザー】

パルスファイバーレーザーredENERGY G4
高繰返しLD励起パルス固体レーザー(IMPACTシリーズ)
【インプリント】

UV式mini ナノインプリント装置 EUN-4200
熱式miniインプリント装置 EHN-3250
【粒度分布計測】

レーザー回折式 粒度分布測定(乾式・湿式) HELOS&RODOS

【SECOPTA社 LIBSシステム】

SECOPTA社 LIBSシステム(インライン向け)
SECOPTA社 LIBSシステム(ラボ用卓上タイプ)
SECOPTA社 LIBSシステム(超高速インライン向け)

【Newport社 電動ステージ】
電動直進ステージ(自動直進ステージ)
電動回転ステージ(自動回転ステージ)
電動垂直ステージ(自動垂直ステージ)
ナノポジショニング・リニアステージ(ピエゾ駆動直進ステージ)
ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム
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レーザー専門商社の草分けとして、1968...
主として海外製品の輸入販売を行っています。取扱製品を大きく分類すると、次のような製品・技術に分類することができます。 【レーザー】 海外から、多種類の最先端レーザー製品を輸入し、あらゆる業種・用途に適応できるように多彩な製品群を用意し、お客様の目...
光学測定
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