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種々のコンポーネントや
アプリケーションに柔軟に対応
・顕微鏡用対物レンズマウント
・アプリケーションごとに選べるチップ&チルト・ミラーマウント
・最大開口1500μmの光シャッター/スリット
・使い易いファイバポジショニングシステム
・マイクロメータスクリュードライブ
・グリッパー
製品選定でお悩みの際は、日本レーザーまでご連絡ください。 03-5285-0861
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概要


piezosystem jena社では、レンズ、ミラー、ファイバなどの光学部品の精密ポジショニングに適した、ピエゾ駆動の光学マウント類を製造しています。
またマイクロメータスクリュードライブやグリッパーのように種々のコンポーネントに柔軟に対応できる製品も多数ラインナップし、幅広い分野・用途に最適なソリューションを提供します。



ラインナップ

フォーカスレンズポジショナ MIPOSシリーズ

ピエゾ駆動フォーカスレンズポジショナ MIPOS シリーズ

マイクロ及びマクロ対物レンズの精密調整や、顕微鏡のレボルバ全体のピエゾによる調整のためのフォーカスポジショナです。レンズをZ軸方向にサブナノメートルの高い解像度で駆動します。あらゆるメーカーの顕微鏡で使用でき、特に単一光子顕微鏡、レーザー走査顕微鏡、コンフォーカル顕微鏡など高解像度顕微鏡の用途に最適です。

  • 移動量: 16~500μm
  • 最大レンズ径: 40mm
  • 最大レンズ重量: 500g
  • MIPOS N100 顕微鏡レボルバ用高精度ポジショナ
  • MIPOS 16-158 干渉計セットアップ用ステージ(最大 3000g, ホール径 104mm)

ミラーマウント PSHシリーズ

ミラーマウント

ミラーなどのオプティクスのための高速傾き調整システムで、高速スキャニング、視標追跡、ビームステアリングなど多くのアプリケーションで使用できます。kHzレベルの高い共振周波数と1nm未満の高い分解能を特長としています。フィードバックセンサ付きもございます。

  • 可動軸: (θ, x, y, z) / (θ, x, y) / (θ, x)
  • 最大オプティクス径: 50mm
  • 共振周波数: 最高 6.5kHz
  • フィードバックセンサオプション/真空オプション

シャッター/スリットシステム PZSシリーズ

シャッター/スリットシステム

2個のスリットエッジを1個のピエゾアクチュエータで駆動します。平行四辺形デザインの硬性湾曲ヒンジにより、スリットエッジの中心線への同期を最適化しています。またひずみゲージ測定システムで、ヒステリシス、クリープ、温度の影響を防ぎます。精度は測定システム内蔵で 約 0.1% です。UHV対応モデルも可能です。

  • 開口: 60~1500μm
  • ナノメートルオーダーの高い分解能
  • 真空バージョン
  • 測定システムオプション

ファイバポジショニングシステム FAPOSシリーズ

ファイバポジショニングシステム

ファイバのカップリングやアライメントに便利な高精度XYZポジショニングシステムです。コンパクトなモジュールデザインで、多様なアプリケーションに柔軟に対応できます。

マイクロメータドライブを利用した Side Aと、TRITOR X軸ステージを利用した高精度な Side Bがございます。マイクロ対物レンズマウントやファイバホルダーなどのアクセサリ類もございます。

  • Side A: 最大可動量 5mm, 精度 <0.5μm
  • Side B: 最大可動量 100~400μm, 精度 1~30nm

マイクロメータスクリュードライブ MICIシリーズ

マイクロメータスクリュードライブ

光学産業における品質管理のために開発されたピエゾアクチュエータによるマイクロスクリュードライブです。ナノメートル、サブナノメートルオーダーの高分解能と、高い耐負荷量、堅牢さを同時に実現しました。

  • 移動量: 80~250μm
  • 高い共振周波数
  • 機械的遊び無し
  • リニアステージ、品質管理、自動化、光学部品の精密調整、マイクロアセンブリなどに最適

グリッパー

グリッパー

微小部品のマイクロポジショニングやハンドリング用のピエゾアクチュエータ駆動のグリッパーです。最大開口は300μmです。コンパクトパッケージで、OEM用途にも最適です。

  • GRIPPY: プリロードスプリングでグリップ力の調整が可能
  • ファイバグリッパー: ミリ秒レベルの高速グリップ動作
 


(採用例)ウエハ検査システム内でのウエハの高精度ポジショニング


(採用例)赤外波長での走査型近接場光学顕微鏡


(採用例)ピエゾシステムスキャナを用いたナノライフAFM システム


顕微鏡アプリケーション向け製品



ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈アプリケーション例〉

ビームシャッター 光ファイバ ライフサイエンス
(生命科学)
マテリアルサイエンス
(物質科学)
機械工学 計量学
顕微鏡検査 ナノ位置決め 光学
半導体 バルブ技術 オートフォーカス装置
(自動焦点装置)

◆日本レーザーの製品ラインナップ
piezosystem jena 社の光学機器
ファイバー光スイッチ/マルチプレクサ
ピエゾ駆動システムによる
高速・高効率・広帯域な光スイッチ
・ピエゾ素子による高速&高精度ファイバカップリング
・標準 1~9チャンネル
・モジュールのカスケード接続で100以上までチャンネル数を増設可能
・対応ファイバコア径 50~600μm
・内部光学部品無し: 紫外から赤外までカバー
>詳細はこちら
ピエゾ駆動光学マウント
種々のコンポーネントや
アプリケーションに柔軟に対応
・顕微鏡用対物レンズマウント
・アプリケーションごとに選べるチップ&チルト・ミラーマウント
・最大開口1500μmの光シャッター/スリット
・使い易いファイバポジショニングシステム
・マイクロメータスクリュードライブ
・グリッパー
>詳細はこちら
ピエゾ駆動ステージ
LDなど光学部品の精密ポジショニング及び
スキャニング用途に適した、
安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ
・X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転
・最大1500μmのロングトラベル達成
・クローズドループオプション
・真空/極低温対応可能
>詳細はこちら
NanoX 高速ポジショナ
最大10kgもの大荷重でも、
高精度な高速ダイナミック・ナノ/マイクロポジショニングを実現。
複数のポジショナを組み合わせることも可能。
・2つのスタック・アクチュエータを組み合わせる双方向アクティブ法採用
・高精度、高い耐荷重で高速の動的用途に最適
>詳細はこちら
スタックアクチュエータ
多層セラミック技術をもとにした
スタック型ピエゾアクチュエータ
・数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現
・長寿命
・クローズドループ対応
・真空、極低温対応
>詳細はこちら

【パターン・ジェネレータ】 (レーザー描画装置・レーザー加工装置)

高速/高精細レーザー直接描画装置“VPG200/400” 【生産用途】
マスクレス・リソグラフィ装置 フラッグシップ・モデル“DWL2000/4000” 【生産・開発用途】
R&D用マスクレス・リソグラフィ装置 最上位モデル“DWL66+” 【研究・開発用途】
卓上型マスクレス・リソグラフィ装置“μPG501/μPG101” 【研究・開発用途】
【パルスレーザー】

パルスファイバーレーザーredENERGY G4
高繰返しLD励起パルス固体レーザー(IMPACTシリーズ)
【インプリント】

UV式mini ナノインプリント装置 EUN-4200
熱式miniインプリント装置 EHN-3250
【粒度分布計測】

レーザー回折式 粒度分布測定(乾式・湿式) HELOS&RODOS

【SECOPTA社 LIBSシステム】

SECOPTA社 LIBSシステム(インライン向け)
SECOPTA社 LIBSシステム(ラボ用卓上タイプ)
SECOPTA社 LIBSシステム(超高速インライン向け)

【Newport社 電動ステージ】
電動直進ステージ(自動直進ステージ)
電動回転ステージ(自動回転ステージ)
電動垂直ステージ(自動垂直ステージ)
ナノポジショニング・リニアステージ(ピエゾ駆動直進ステージ)
ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム
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レーザー専門商社の草分けとして、1968...
主として海外製品の輸入販売を行っています。取扱製品を大きく分類すると、次のような製品・技術に分類することができます。 【レーザー】 海外から、多種類の最先端レーザー製品を輸入し、あらゆる業種・用途に適応できるように多彩な製品群を用意し、お客様の目...
光学測定
温度/湿度/密度/比重測定
検査機器
分析機器
その他理化学関連機器
温度
変位/位置
その他
工業用カメラ
レンズ
光源/照明
画像計測/解析機器
画像処理ソフト
材料組立
その他
CAD/CAM/CAE
その他
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超微細加工装置
評価/計測機器
バイオ/医療関連
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RFID関連
その他
その他
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MEMS
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組立装置
一般装置
その他
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その他
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